洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
如何选择十万级无尘车间工程装修材料。室内装修材料：以下是十万级无尘车间工程施工室内材料的选择。1、十万级无尘车间使用木材的含水率不应大于16%，并且不得外露。由于无尘车间换气次数大，相对湿度低，如大量使用木材，易干裂、变形、松动、产生灰尘等，无尘系统防爆净化公司设计，即使用也要局部使用，并且一定要做好防腐防潮处理。2、一般十万级无尘车间需用石膏板时须用防水石膏板，而对于生物无尘车间由于经常用水擦洗和用消毒液冲洗，即使防水石膏板也要受潮变形，不耐冲洗，所以规定生物无尘车间不应采用石膏板作罩面材料。3、不同无尘车间在选择室内装修材料时还需考虑不同的个性需求。
山东净化工程中在确定集中或分散净化空气体调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和净化车间空气体的洁净度等级、面积和位置等因素。对于生产过程连续的洁净室、大型无尘室或净化车间、集中选址、噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，应采用集中净化空空调系统。山东净化工程中净化空气如果空调系统需要电加热，应选择管式电加热器，该电加热器应布置在高效空气过滤器的迎风面，并应配备防火措施。山东净化工程中，除直流系统和带值班风机的系统外，净化空调系统应采取反倾销措施，防止室外污染空气通过新风口进入净化车间。
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