净化工程中空气净化处理方案。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
2.风管既要经济又要高效:在净化工程，风管需要经济有效地送风。经济要求体现在运行成本低、施工方便、光滑内表面阻力小。效率是指不产生粉尘、密封性好、不漏气、防火、不积尘、无污染、耐腐蚀、防潮。3、火警设备和电化不能少。净化车间厂房内设置电化和对讲机，以减少人员在清洁区域行走和粉尘排放。发生火灾时，及时与外界接触也会为正常的工作接触创造条件。此外，山东无尘净化车间还应设置火灾报警系统，防止火灾被外界轻易发现，半导体净化工程设计，造成重大经济损失。
净化车间我们还要注意什么？洁净室应设的人的流、物流通道。人员应按规定的净化程序进入，并应严格控制人数。对于物料可在除去浮尘后拆去外包的通过缓冲间或传递柜送入。不同洁净等级的洁净区物品则通过传递窗传送。中间站宜设在中心位置，以便缩短运送距离。洁净区内不设与本岗位无关的管道。充分利用上下或周围的技术夹层，所有公用管道、工艺管道的主干管均在技术夹层安装。穿越地面、隔墙的管道尽可能靠近使用点并敷设套管，套管内的管道不应有焊缝，管道与套管之间应有可叉的密封措施。进入洁净室的管道应为不锈钢材质。
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